测试装置及调控方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114740922 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202110048635.9 (22)申请日 2021.01.14 (30)优先权数据 110100602 2021.01.07 TW (71)申请人 矽品精密工业股份有限公司 地址 中国台湾台中市 (72)发明人 杜昭明　杨志明　梁文钦　陈承韶　 王永铭　 (74)专利代理机构 北京戈程知识产权代理有限 公司 11314 专利代理师 程伟　王锦阳 (51)Int.Cl. G05D 23/30 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 (54)发明名称 测试装置及调控方法 (57)摘要 本发明涉及一种测试装置及调控方法，包括 将目标物设于一测试装置的舱体内的测试平台 上，再经由温度反应结构感测该目标物的温度， 之后经由控制器接收该温度反应结构的温度信 号，其中，该控制器能调控该舱体内部的压力，以 控制该舱体的气压，使该目标物于高功耗的情形 下，仍可维持良好的散热能力。 A 2 2 9 0 4 7 4 1 1 N C CN 114740922 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种测试装置，其特征在于，包括： 舱体，其于内部设有一用以置放目标物的测试平台； 温度反应结构，其感测该目标物