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PCT发明

基于MEMS的相位空间光调制架构

2023-05-12 11:26:52 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080069718.X
  • 公开（公告）日：2024-10-01
  • 公开（公告）号：CN114556185A
  • 申请人：德克萨斯仪器股份有限公司
摘要：所描述的示例包括在衬底上具有驱动电极506的装置。该装置具有悬置在驱动电极上方并导电地耦合到平台电极512的平台504，其中平台被配置为响应于施加在驱动电极和平台电极之间的电压差而在垂直于衬底表面的方向上移动。该装置在平台上还具有镜柱508。该装置具有通过镜柱508耦合到平台的反射镜510，其中反射镜是矩形的。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114556185 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202080069718.X (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限 公司 11245 (22)申请日 2020.10.15 专利代理师 李英 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 16/653,026 2019.10.15 US G02B 26/08 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B81B 7/04 (2006.01) 2022.04.01 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/055721 2020.10.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/076719 EN 2021.04.22 (71)申请人 德克萨斯仪器股份有限公司 地址 美国德克萨斯州 (72)发明人 J ·霍尔　T ·A ·巴利特利　 W ·C ·麦克唐纳　

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