一种加工二维材料纳米结构阵列的装置及方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115535960 A (43)申请公布日 2022.12.30 (21)申请号 202211077703.5 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 南方科技大学 地址 518055 广东省深圳市南山区桃源街 道学苑大道1088号 (72)发明人 何洋　章亮炽　胡佳浩　 (74)专利代理机构 深圳市君胜知识产权代理事 务所(普通合伙) 44268 专利代理师 秦胜军 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) B82Y 30/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 一种加工二维材料纳米结构阵列的装置及 方法 (57)摘要 本发明公开了一种加工二维材料纳米结构 阵列的装置及方法，其中，包括加工室、充气结 构、支架、第一位移工作台、第二位移工作台、模 板和电场组件，充气结构与加工室连通，用于输 入气体反应介质；支架设于加工室内，支架上形 成有相互垂直的水平支撑台面和竖直支撑台面； 第一位移工作台设置在水平支撑台面上，用于承 载二维材料样品；第二位移工作台设置在竖直支 撑台面上；模板设于第二位移工作台上朝向二维 材料样品的一侧，用于转印纳米结构阵列至二维 材料样品上；模板上设有凸起结构，凸起结构用 A 于诱导二维材料样品的表面氧化；电场组件一端 0 与第一位移工作台连接，另一端与模板连接