用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统
- 申请专利号:CN202310382177.1
- 公开(公告)日:2024-09-20
- 公开(公告)号:CN116281797A
- 申请人:技感半导体设备(南通)有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116281797 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310382177.1 B65G 47/24 (2006.01) B65G 39/18 (2006.01) (22)申请日 2023.04.11 B65G 57/03 (2006.01) (71)申请人 技感半导体设备 (南通)有限公司 B65G 59/02 (2006.01) 地址 226017 江苏省南通市开发区苏通科 B08B 3/04 (2006.01) 技产业园江成路1088号江成研发园1 B67B 7/16 (2006.01) 号楼1529-145室(CSSD) (72)发明人 林海涛 赵凯 梁猛 卢升 李兵 时威 徐敏 (74)专利代理机构 上海锻创知识产权代理有限 公司 31448 专利代理师 梁勤伟 (51)Int.Cl. B67B 3/02 (2006.01) B65G 35/00 (2006.