一种掩膜版批量临时存储装置及掩膜版周转系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112811062 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110192845.5 (22)申请日 2021.02.20 (71)申请人 合肥清溢光电有限公司 地址 230000 安徽省合肥市新站区谷河路 与通淮路交口东北角 (72)发明人 张华超　甄华彪　魏晖　葛翔　 (74)专利代理机构 合肥律众知识产权代理有限 公司 34147 代理人 夏舜 (51)Int.Cl. B65G 1/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种掩膜版批量临时存储装置及掩膜版周 转系统 (57)摘要 本发明公开了一种掩膜版批量临时存储装 置，包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存 储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储 层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面 上的固定导梁，两所述固定导梁上设置有移动 架，所述移动架沿所述固定导梁轴线方向移动进 出框状结构的存储架内部区域，所述移动架上设 置有夹紧机构；本发明的一种掩膜版批量临时存 储装置，具有能够自动存取掩膜版的临时存储装 置，能够解决工序的产品堆积问题，同时也能避 免对产品造成污染。 A 2 6 0 1 1 8 2 1 1 N C CN 112811062 A 权　利　要　求　书 1/