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PCT发明

套刻测量装置

2023-06-14 13:10:07 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980074905.4
  • 公开（公告）日：2024-08-27
  • 公开（公告）号：CN113168107A
  • 申请人：奥路丝科技有限公司
摘要：本发明涉及一种套刻测量装置。本发明提供一种套刻测量装置，其测量分别形成于设置在晶圆的彼此不同的层的第一套刻标记与第二套刻标记之间的误差的装置，所述套刻测量装置包括：光源；第一分束器，其将从所述光源出射的光束分离为两个光束；第一滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第一套刻标记图像；第二滤色器，其将由所述第一分束器分离的光束中的另一个光束的中心波长和带宽调节为适合于获取所述第二套刻标记图像；光束组合器，其组合通过了所述第一滤色器和第二滤色器的光；物镜，其将由所述光束组合器组合的光束聚光于晶圆的测量位置，并收集从测量位置反射的光束；第二分束器，其将由所述物镜收集的光束分离为两个光束；第一检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的一个光束以获取所述第一套刻标记图像；第二检测器，其检测由所述第二分束器分离的光束中的另一个光束以获取所述第二套刻标记图像。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113168107 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980074905.4 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 (22)申请日 2019.09.11 代理人 金鲜英　张敬强 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2018-0110421 2018.09.14 KR G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/66 (2006.01) 2021.05.13 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/KR2019/011802 2019.09.11 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/055147 KO 2020.03.19 (71)申请人 奥路丝科技有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 李先炯　李吉洙　李声洙　朴奎南　 权利要求书1

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