一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113788611 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111086955.X (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 长飞光纤潜江有限公司 地址 433100 湖北省潜江市江汉盐化工业 园长飞大道特1号 (72)发明人 刘二明　朱晓弦　王友志　秦霏　 张宏胜　 (74)专利代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限 公司 42102 代理人 胡建平 (51)Int.Cl. C03B 37/014 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)发明名称 一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯 (57)摘要 本发明涉及一种三级火焰VAD工艺沉积喷 灯，包括有喷灯体，喷灯体沿周向设置中心供料 孔和围绕中心供料孔的多层环形气孔，其特征在 于所述的多层环形气孔均为火焰环形气孔，且从 内向外依次包括内层火焰环形气孔、中层火焰环 形气孔和外层火焰环形气孔，所述喷灯体的喷口 端面由内向外呈三级轴向递增内凹状，其中内层 火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最内面，与中 心供料孔喷口齐平，中层火焰环形气孔喷口位于 喷口端面的次内面，外层火焰环形气孔喷口位于 喷口端面的最外面，所述的火焰环形气孔包括有 氧气环形气孔和氢气环形气孔。本发明不仅结构 A 设置合理，易于加工，而且能有效改善和提高沉 1 积过程的收集率和沉积速率。 1 6 8 8 7 3 1 1