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PCT发明

用于组装掩模版组件的设备

2023-07-07 07:06:55 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080017405.X
  • 公开（公告）日：2025-08-05
  • 公开（公告）号：CN113853550A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明涉及一种用于处置大致平面物体的物体处置设备，所述物体处置设备包括：两个支撑臂，所述两个支撑臂中的至少一个相对于另一支撑臂大致在平面中可移动，使得所述两个支撑臂可操作以抓取和保持设置在所述平面中的物体；其中所述支撑臂中的每个支撑臂包括至少一个支撑垫和至少一个对准器，所述支撑垫被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加大致垂直于所述平面的力以支撑所述物体，并且所述对准器被配置为局部地接触所述物体的表面并向其施加大致在所述平面中的力以抓取所述物体。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113853550 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202080017405.X 德克 ·S ·G ·布龙　 J ·R ·S ·克拉克林　E ·哈格　 (22)申请日 2020.02.25 彼得 ·雷纳特 ·马里亚 ·埃尼　 (30)优先权数据 J ·W ·A ·乌斯特林　L ·波斯特马　 19159943.0 2019.02.28 EP M ·D ·斯内尔　J ·C ·A ·范登堡　 19163828.7 2019.03.19 EP W ·范登齐斯　B ·J ·范登维克　 19191214.6 2019.08.12 EP M ·J ·A ·范库克　 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 M ·A ·L ·范乌姆-范海尔克　 2021.08.27 H ·M ·T ·维尔斯马　 (86)PCT国际申请的

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