刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114408853 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202111452700.0 (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 西安交通大学 地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号 (72)发明人 李支康　吉田　赵立波　赵一鹤　 袁佳炜　秦韶辉　石璇　李梓璇　 马琦　蒋庄德　 (74)专利代理机构 西安通大专利代理有限责任 公司 61200 代理人 姚咏华 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 刚柔融合电容式柔性MEMS超声换能器及其 制备方法 (57)摘要 本发明公开刚柔融合电容式柔性MEMS超声 换能器及其制备方法，换能器的振动薄膜和下电 极采用刚性材料；基底和支柱采用柔性材料。振 动薄膜和下电极对应于支柱表面的区域设置凹 槽，贯穿振动薄膜和下电极的厚度方向。本发明 利用刚性振动薄膜来保证高谐振频率，实现MEMS 超声换能器频率的灵活设计；利用柔性基底和支 柱来实现MEMS超声换能器的柔性，解决传感器频 率和柔性设计相互制约的难题；利用柔性支柱与 刚性薄膜形成二级串联振动系统，提高输出声压 和接收灵敏度；利用刚性下电极和刚性振动薄膜 A 减小振动过程中上下电