一种轻质合金构件表面纳米多层耐蚀涂层及制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116180011 A (43)申请公布日 2023.05.30 (21)申请号 202211672969.4 C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日 2022.12.26 (71)申请人 兰州空间技术物理研究所 地址 730000 甘肃省兰州市城关区高新飞 雁街100号 (72)发明人 贵宾华　杨拉毛草　周晖　马占吉　 张延帅　冯兴国　汪科良　郑玉刚　 蒋钊　 (74)专利代理机构 北京理工大学专利中心 11120 专利代理师 高会允 (51)Int.Cl. C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 (54)发明名称 一种轻质合金构件表面纳米多层耐蚀涂层 及制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种轻质合金构件表面纳米 多层耐蚀涂层及制备方法，本发明属于轻质合金 结构部件表面真空镀膜改性领域。本发明涉及一 种轻质合金表面纳米复合多层Cr/CrN/CrSiN耐 蚀涂层低温制备方法 ，具体是采用独特的同步 HiPIMS脉冲偏压技术，利用HiPIMS技术高的金属 靶材离化率与基体偏压鞘层针对沉积离子束流 选择性增能的协同耦合效应实现在轻质合金结 构件表面制备纳米复合多层Cr