等离子改性3D纳米图案及引导嵌段共聚物自组装的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116332122 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310053555.1 (22)申请日 2023.02.03 (71)申请人 中国科学院长春应用化学研究所 地址 130022 吉林省长春市人民大街5625 号 (72)发明人 季生象　黄广诚　刘亚栋　韩苗苗　 (74)专利代理机构 北京睿智保诚专利代理事务 所(普通合伙) 11732 专利代理师 刘清丽 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) C08F 299/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书13页 附图6页 (54)发明名称 等离子改性3D纳米图案及引导嵌段共聚物 自组装的方法 (57)摘要 本发明属于纳米结构制造技术领域，本发明 公开了一种等离子改性3D纳米图案及引导嵌段 共聚物自组装的方法。本发明制备步骤包括：将 聚合物刷/毡接枝到基底表面‑清洗‑旋涂光刻 胶‑曝光‑显影‑等离子改性‑清洗。其中，通过等 离子改性聚合物刷/毡，调节嵌段共聚物与刷/毡 之间的界面自由能，从而获取非选择性的基底。 该方法易实现，合成简单，是值得推广的获取中 性分子刷的方式。同时引导嵌段共聚物进行密度 倍增组装，均得到无缺陷长程有序的形貌。相比 传统化学图案法减少了修整刻蚀的步骤，制备过 A 程对设备要求较低，制备流程简单易控制，仅需 2 改变