振镜的校正方法及装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117891068 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202410222996.4 (22)申请日 2024.02.28 (71)申请人 珠海东辉半导体装备有限公司 地址 519000 广东省珠海市香洲区唐家湾 镇金园一路6号5栋1层 (72)发明人 张贤俊　李成炯　白秉万　董岱　 崔㠯镐　徐石峰　 (74)专利代理机构 珠海得全知识产权代理事务 所(普通合伙) 44947 专利代理师 李家平 (51)Int.Cl. G02B 27/00 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01) B23K 26/082 (2014.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 振镜的校正方法及装置 (57)摘要 本发明涉及激光加工领域，公开了振镜的校 正方法及装置，其中方法包括确定场镜的扫描区 域、第一校正区域和中心点；以中心点为基准点， 以场镜的扫描区域的最外沿为边界，对场镜的扫 描区域进行分区，得到多个辅助正方形和第二校 正区域；以多个辅助正方形为基准，对辅助正方 形进行分割，得到新的辅助正方形和新的校正区 域；基于预设的精度阈值，迭代执行分割，迭代得 到新的校正区域。本方案设计了一种分区域多次 校正，然后再进行拟合的校正方法，可以有效的 增加校正范围，使校正区域充满整个场镜圆区 域，有效的避免了区域浪费。 A 8