一种高精度位移驱动台2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117784537 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202410104118.2 (22)申请日 2024.01.24 (71)申请人 无锡埃瑞微半导体设备有限责任公 司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道200-16(D2)栋600-914 (72)发明人 吴坤　盖洪峰　段洪伟　 (74)专利代理机构 河北冀狮专利代理事务所 (特殊普通合伙) 13174 专利代理师 王成霞 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种高精度位移驱动台 (57)摘要 本发明公开了一种高精度位移驱动台，本发 明涉及精密检测仪器技术领域；该高精度位移驱 动台采用两个PZT压电陶瓷电机或音圈电机驱动 机构作为位移输出机构，通过连接机构把位移输 出给调节对象，再利用位置传感器测量调节对象 的实际位移，并把实际位移值反馈给PZT压电陶 瓷电机或音圈电机驱动机构，形成位置闭环，该 位置闭环可以获得很小的静态误差和动态响应， 从而达到位移输出的精确控制。利用若干温度传 感器测试出系统安装底座的温度和环境温度，然 后把系统安装底座温度和环境温度反馈给两个 位置传感器，对位置传感器的测得位移值进行温 A 度补偿。该温度补偿大大降低了环境温度对测试 7 精度的影响，提高了驱动台的位移准确度和高精 3 5 4