一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112853297 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110167096.0 (22)申请日 2021.02.05 (71)申请人 广东汇成真空科技股份有限公司 地址 523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋 龙园路2号 (72)发明人 李志方　陸创程　魏艳玲　 (74)专利代理机构 广州知友专利商标代理有限 公司 44104 代理人 周克佑 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图9页 (54)发明名称 一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控 溅射镀膜机 (57)摘要 本发明公开了一种方便阴极系统保养的大 型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于 支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊 周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生 靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所 开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端则各 自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体 内轨道上，固定板的下端两侧设置有轨道轮组 件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨 道上。本发明在需要对阴极靶进行保养维修的时 候，可把所有的阴极靶组拉出镀膜室，然后分别 A 启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴 7 极靶转动到合适方位上检修。与现有的镀膜机相 9 2 3 比，检修方便，提高了工效，省时