基于慢波电极的薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118068598 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410501422.0 (22)申请日 2024.04.25 (71)申请人 苏州易缆微光电技术有限公司 地址 215500 江苏省苏州市常熟高新技术 产业开发区东南大道68号1幢 申请人 苏州易缆微半导体技术有限公司 (72)发明人 殷祥　陈伟　张建军　鞠兵　 陈朋鑫　 (74)专利代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务 所(普通合伙) 32231 专利代理师 何磊 (51)Int.Cl. G02F 1/03 (2006.01) G02F 1/035 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 基于慢波电极的薄膜铌酸锂电光调制器及 制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于慢波电极的薄膜铌 酸锂电光调制器及制备方法，包括硅衬底和薄膜 铌酸锂波导层，所述薄膜铌酸锂波导层包括马赫 曾德尔结构，在马赫曾德尔结构每条波导分支臂 的两侧分别设置信号电极和接地电极，其特征在 于，所述信号电极包括慢波电极段和条形电极 段，所述慢波电极段与所述条形电极段相连接； 通过调整条形电极段的宽度以及条形电极段与 接地电极的间距来调整条形电极段的特征阻抗， 使其与慢波电极段的特征阻抗相匹配；通过调整 慢波电极段的长度以及条形电极段的长度，使得 A 光波群时延与微波群时延相等，实现速度