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PCT发明

用于改善对宽带辐射生成的控制的方法、组件、和设备

2022-10-24 10:21:20 发布于四川 81
  • 申请专利号：CN202080092908.3
  • 公开（公告）日：2025-07-25
  • 公开（公告）号：CN114945865A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种用于将输入辐射转换成宽带辐射的中空芯体光子晶体光纤(HC‑PCF)组件，所述中空芯体光纤组件包括：微结构化光纤，所述微结构化光纤具有中空芯体，所述中空芯体沿所述光纤的长度从被配置成接收输入辐射的输入端延伸至被配置成输出宽带辐射的输出端，其中所述光纤的所述中空芯体被配置成包含介质；和密度控制系统，所述密度控制系统被配置成控制所述介质的沿所述光纤的所述长度的至少一部分的密度分布，以建立沿所述光纤的所述长度的至少一部分的期望的零色散波长分布。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114945865 A (43)申请公布日 2022.08.26 (21)申请号 202080092908.3 W ·R ·彭格斯　 (22)申请日 2020.12.14 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (30)优先权数据 专利代理师 毕杨 20151863.6 2020.01.15 EP 20156804.5 2020.02.12 EP (51)Int.Cl. G02F 1/383 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G02F 1/365 (2006.01) 2022.07.12 G03F 7/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G02B 6/02 (2006.01) PCT/EP2020/085965 2020.12.14 G02F 1/01 (2006.

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