一种超声换能器及其制作方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117861986 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202410101144.X (22)申请日 2024.01.24 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 申请人 北京京东方技术开发有限公司 (72)发明人 韩艳玲　王雷　刘文渠　崔钊　 冉建清　赵宇鹏　姬雅倩　曹永刚　 勾越　李嘉敏　 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理 有限公司 11291 专利代理师 金俊姬 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 一种超声换能器及其制作方法 (57)摘要 本发明公开了一种超声换能器及其制作方 法，其中，超声换能器包括：基底、第一电极、第二 电极，以及位于第一电极和第二电极之间的振 膜，第二电极位于振膜背离第一电极的一侧，且 振膜与第二电极接触；振膜与第一电极之间具有 空腔，空腔包括中心区域和边缘区域，边缘区域 环绕中心区域；空腔在中心区域的深度大于空腔 在边缘区域的深度。空腔的中心区域可以为振膜 提供更大的位移空间，提升了驱动电压的上限， 从而有利于增大振膜的平均位移，提升超声换能 器的性能。 A 6 8 9 1 6 8 7 1 1 N C CN 117861986 A