基于复合结构研抛工具的全频段面形误差协同控制方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116984953 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310975723.2 (22)申请日 2023.08.04 (71)申请人 浙江工业大学 地址 310006 浙江省杭州市拱墅区朝晖六 区潮王路18号 (72)发明人 金明生　李燕　金明磊　罗仕挺　 诸东杰　唐璇　 (74)专利代理机构 杭州浙科专利事务所(普通 合伙) 33213 专利代理师 吴昌榀 (51)Int.Cl. B24B 1/00 (2006.01) B24B 49/12 (2006.01) B24B 35/00 (2006.01) 权利要求书4页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 基于复合结构研抛工具的全频段面形误差 协同控制方法 (57)摘要 本发明属于超精密加工技术领域，具体公开 了一种基于复合结构研抛工具的全频段面形误 差协同控制方法，包括 ：获得初始低、中、高频误 差分布模型。分析工件表面各频段误差分布特 征，建立全频段面形误差协同控制模型。获取材 料去除深度，设定各频段面形误差分布最大值。 采用最佳组合算法获得最佳驱动电压值、最优轨 迹及相关参量组合。根据最优参量组合建立判定 矩阵对该参量组合下的执行效果进行评估。根据 判定矩阵计算协同控制模型中的系数值，结合外 部约束条件，代入全频段面形误差协同控制模 A 型，得出最优解，获得最佳协同控制策略。本发明