一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109243520 A (43)申请公布日 2019.01.18 (21)申请号 201811236256.7 (22)申请日 2018.10.23 (71)申请人 安徽理工大学 地址 232001 安徽省淮南市泰丰大街168号 (72)发明人 徐彬　汪利萍　姜志　陈明亮　 (51)Int.Cl. G12B 5/00(2006.01) G05D 3/12(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方 法 (57)摘要 本发明公开了一种宏微双驱动精密定位平 台及其控制方法，属于精密定位技术领域，包括 基座、导轨、平台、宏微驱动器和限位机构，所述 基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺 栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑 块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上 端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述 导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一 侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有 微动光栅读数头，所述宏微驱动器安装在固定座 的中间孔上，所述限位机构安装在固定座侧孔 A 内。本发明通过宏微双驱动解决大行程与高精度 0 之间的矛盾，采用双光栅检测方案，能够实现定 2 5 3 位平台的全闭环控制以达到精密定位。 4 2 9 0 1 N C CN 109243520 A