超表面探测器及其制造方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117865059 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202410044252.8 (22)申请日 2024.01.11 (71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院 地址 230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号 (72)发明人 裘桢炜　聂安然　 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限 公司 11322 专利代理师 李巍　牛孝灵 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G01J 1/42 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 超表面探测器及其制造方法 (57)摘要 本发明提供一种超表面探测器及其制造方 法，针对超表面结构与探测器之间的集成，既能 够避免超表面的性能下降又能够降低成本。在本 发明的制造方法中，首先任选一个图像传感器， 移除传感器表面的窗片使像敏面裸露，接着，在 传感器的像敏面上形成一定厚度的镀层，然后， 利用聚焦离子束技术在镀层直接刻写所需的图 案从而将镀层加工成超表面阵列，最后，覆盖窗 片完成超表面探测器的制造。由此，提供了高性 能、低成本、设计和制造的过程灵活的超表面探 测器的制造方法以及由该方法制造的超表面探 测器。 A 9 5 0 5 6 8 7 1 1 N C CN 117865059 A 权　利　要　求　书