一种基于二维光栅波导的模式不敏感的模斑转换器2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117008253 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202310851295.2 (22)申请日 2023.07.12 (71)申请人 吉林大学 地址 130012 吉林省长春市长春高新技术 产业开发区前进大街2699号 (72)发明人 王希斌　车远华　孙士杰　余启东　 孙小强　张大明　 (74)专利代理机构 长春吉大专利代理有限责任 公司 22201 专利代理师 王立文 (51)Int.Cl. G02B 6/14 (2006.01) G02B 6/124 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 一种基于二维光栅波导的模式不敏感的模 斑转换器 (57)摘要 一种基于二维光栅波导的模式不敏感的模 斑转换器，属于平面光波导器件技术领域。由硅 片衬底、二氧化硅下包层、芯层直波导和聚合物 上包层组成，芯层直波导被完全包覆在聚合物上 包层之中 ；沿光的传输方向，芯层直波导由聚合 物外芯层直波导和被聚合物外芯层直波导包覆 的内芯层直波导组成，内芯层直波导由顺次连接 的二维光栅波导和输出直波导组成；内芯层直波 导的长度小于聚合物外芯层直波导的长度，且输 出直波导和聚合物外芯层直波导的输出端面位 于同一平面。本发明器件结构充分发挥了氮化硅 A 材料透明窗口大、热稳定性高以及聚合物材料和 3 氮化硅材料加工工艺成熟且相兼容的优势，为解