一种螺旋波等离子体发生装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116321659 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310101375.6 (22)申请日 2023.01.19 (71)申请人 安徽金屹能源发展有限公司 地址 230088 安徽省合肥市高新区中国 （安 徽）自由贸易试验区望江西路900号中 安创谷科技园一期D3幢4楼 (72)发明人 孟月东　缪勇　 (74)专利代理机构 合肥天明专利事务所(普通 合伙) 34115 专利代理师 苗娟 (51)Int.Cl. H05H 1/46 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种螺旋波等离子体发生装置 (57)摘要 本发明的一种螺旋波等离子体发生装置，包 括有一端密封的石英玻璃管、电感线圈，还包括 螺旋波天线、稳恒磁场线圈或磁铁，金属材质的 真空室；石英玻璃管开口端与金属材质的真空室 密封连接，与真空抽气、充气及压力测量组件构 成等离子体放电的真空系统；位于石英玻璃管密 封端的射频天线与位于石英玻璃管开口端的电 感线圈串联连接到射频电源，构成电源驱动系 统；本发明利用螺旋波天线分别在弱磁化的等离 子体中产生两支波模，其中一支波因受到等离子 体中的离子朗道阻尼，只在等离子体边缘区域传 播，提高了边界等离子体的能量和密度，使得等 A 离子体的密度和能量的空间分布均匀性得到了 9 极大的提高。 5 6 1 2 3 6 1 1