光刻机的光罩版对准控制方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117311107 A (43)申请公布日 2023.12.29 (21)申请号 202311407054.5 (22)申请日 2023.10.26 (71)申请人 新毅东（上海）科技有限公司 地址 201705 上海市青浦区华新镇北青公 路3888号2幢 (72)发明人 张琪　符友银　 (74)专利代理机构 北京唐颂永信知识产权代理 有限公司 11755 专利代理师 刘伟 (51)Int.Cl. G03F 9/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 光刻机的光罩版对准控制方法 (57)摘要 提供了一种光刻机的光罩版对准控制方法， 包括：在状态机处于初始空闲状态时，接收对准 消息进入消息队列；在所述状态机处于系统对准 状态时，接收用于控制所述光刻机的光罩版对准 的电气设备的移动消息进入所述消息队列；将用 于控制所述光刻机的光罩版对准的电气设备的 移动消息弹出所述消息队列以驱动所述状态机 用于控制所述电气设备移动；以及接收所述电气 设备的移动到位通知消息进入所述消息队列，并 从所述消息队列弹出所述电气设备的移动到位 通知消息以驱动所述状态机用于执行所述光刻 机的光罩版对准操作。这样，可以对对准流程进 A 行实时中断和恢复，并异步并发地控制电气设 7 备。 0 1 1 1 3 7 1 1 N C CN 117311107 A 权　利