一种花生形超高纯硅溶胶的制备方法与应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116143129 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202310000484.9 (22)申请日 2023.01.03 (71)申请人 万华化学集团股份有限公司 地址 264006 山东省烟台市经济技术开发 区重庆大街59号 (72)发明人 王建宇　卫旻嵩　 (51)Int.Cl. C01B 33/141 (2006.01) C09G 1/02 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种花生形超高纯硅溶胶的制备方法与应 用 (57)摘要 本发明公开了一种花生形超高纯硅溶胶的 制备方法与应用，包括以下步骤：1）制备得到活 性硅酸溶液；2）将部分活性硅酸溶液加入到碱液 中，滴加结束后老化反应，调节pH至9‑11，得到种 子母液；3）向种子母液中加入定量有机铵盐，混 合均匀后在高温下继续老化，制备得到初始硅溶 胶；4）将初始硅溶胶升温至80‑120℃，在搅拌下 将剩余的活性硅酸溶液加入到初始硅溶胶中，加 入完毕后继续老化反应，得到硅溶胶；5）采用超 纯水对反应生成的醇进行溶剂置换，并浓缩至二 氧化硅质量含量为20‑50%；6）过滤除去浓缩液中 A 固体，得到花生形超高纯硅溶胶。所述方法可以 9 提供花生形超高纯硅溶胶，在CMP抛光液中可具 2 1 3 有广泛应用。 4 1 6 1 1 N C CN 116143129 A