一种超声酸洗辅助制备高纯氮化硅粉体的方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117509568 A (43)申请公布日 2024.02.06 (21)申请号 202311470596.7 (22)申请日 2023.11.07 (71)申请人 衡阳凯新特种材料科技有限公司 地址 421200 湖南省衡阳市雁峰区白沙洲 工业园区工业大道46号 申请人 湖南大学 (72)发明人 曾小锋　高朋召　覃航　朱福林　 谭庆文　 (74)专利代理机构 北京睿博行远知识产权代理 有限公司 11297 专利代理师 孙孟清 (51)Int.Cl. C01B 21/068 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 (54)发明名称 一种超声酸洗辅助制备高纯氮化硅粉体的 方法 (57)摘要 本发明公开了一种超声酸洗辅助制备高纯 氮化硅粉体的方法，包括以下步骤：S1：准备制备 用的原料；S2：准备制备用的设备；S3：原料的预 处理；S4 ：酸洗处理；S5 ：坯体的制备；S6 ：烘干； S7 ：烧结合成。本发明所述的一种超声酸洗辅助 制备高纯氮化硅粉体的方法，本方法在制备过程 中对氮气的纯度的要求较高，制备时不会产生氧 化物，可以保证成品的质量，且素坯成型压力对 硅粉的氮化率有显著影响，随着素坯密度增大， 金属硅粉氮化率也逐渐减小，随着硅粉的起始粒 度降低，金属硅粉氮化率与压力的依赖关系明显 A 降低，本方法在40Mpa的压力下制备坯体是比较 8 有利的，制备的氮化硅粉体有利