一种基于垂直双台面结构的多工位数字光刻装置和方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113848683 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111110717.8 (22)申请日 2021.09.18 (71)申请人 江苏影速集成电路装备股份有限公 司 地址 221300 江苏省徐州市邳州经济开发 区辽河西路66号 (72)发明人 陈海巍　袁征　王方江　 (74)专利代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权 代理有限公司 23211 代理人 张勇 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G03F 9/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书11页 附图11页 (54)发明名称 一种基于垂直双台面结构的多工位数字光 刻装置和方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于垂直双台面结构的 多工位数字光刻装置和方法，属于光刻系统技术 领域。本发明提供的光刻装置及方法，通过采用 触发对位模式，基于曝光工作面、对位工作面、上 下板操作面分别处于不同垂直工位的垂直双台 面结构，在垂直空间上，为两个台面设置多个垂 直工位，多个垂直工位相互独立，并可以根据不 同的曝光场合，结合不同的曝光流程方法，适用 于有多分区对位需求，或更高解析精度需求，或 两者均需要的生产需求，并保证光刻精度、并提 高工作效率。本发明提供的光刻装置及方法，适 A 合于使用低剂量成像材料的生产需求，此时曝光 3 速度较快，需要尽量缩短上下板和对位操作，