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PCT发明

基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法

2023-07-07 07:07:03 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080036909.6
  • 公开（公告）日：2025-05-09
  • 公开（公告）号：CN113853423A
  • 申请人：信越化学工业株式会社
摘要：基板用临时粘接剂的清洗液包含四丁基氟化铵、二甲基亚砜、和溶解度参数为8.0以上且10.0以下、具有杂原子的液态化合物。优选在四丁基氟化铵、二甲基亚砜和液态化合物的合计100质量％中以1质量％以上且15质量％以下的量含有四丁基氟化铵。另外，优选在四丁基氟化铵、二甲基亚砜和液态化合物的合计100质量％中以5质量％以上且30质量％以下的量含有二甲基亚砜。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113853423 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202080036909.6 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 (22)申请日 2020.05.20 代理人 何杨 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-096056 2019.05.22 JP C11D 1/62 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.11.18 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/019988 2020.05.20 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/235606 JA 2020.11.26 (71)申请人 信越化学工业株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 菅生道博　田边正人　田上昭平　 权利要求书1页 说明书12页 附图1页 (54)发明名称 基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方 法和支承体或基板的清洗方法 (57)摘要 基板用

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