电子设备2024

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220766507 U (45)授权公告日 2024.04.12 (21)申请号 202321074666.2 B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 2023.05.08 (30)优先权数据 102022000009488 2022.05.09 IT 18/308,562 2023.04.27 US (73)专利权人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 F ·丹尼尔　L ·巴尔多　 D ·梅尔纳　E ·杜奇　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 潘树志 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图8页 (54)实用新型名称 电子设备 (57)摘要 公开了电子设备。电子设备包括支撑结构、 微机电系统管芯，微机电系统管芯结合有微结构 和微机电系统管芯与支撑结构之间的连接结构。 连接结构包括接合到支撑结构的间隔结构，以及 施加到间隔结构的与支撑结构相对的一个面上 的膜。间隔结构至少部分地横向限定腔，并且膜 在腔上延伸，与支撑结构保持一定距离。微机电 系统管芯接合到腔上的膜。本实用新型的技术提 供了改进的电子设备，其减轻或至少减少了由于 应力引起的缺陷。