微纳件的转移方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113830727 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202111054781.9 (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人 中国人民解放军军事科学院国防科 技创新研究院 地址 100071 北京市丰台区东大街53号院 (72)发明人 王晓晶　罗晓亮　王浩旭　尹建程　 梁秀兵　胡振峰　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 代理人 谭云 (51)Int.Cl. B81C 3/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 微纳件的转移方法 (57)摘要 本发明涉及微系统异质集成技术领域，尤其 涉及一种微纳件的转移方法，包括对微型件的拾 取以及对微型件的放置两个步骤，对微型件的拾 取步骤为通过金属球沾取粘附介质，将微型件从 其生长基底精准拾取；所述微型件的放置步骤将 拾取的微型件精准转移至含粘性表面的目标基 底位置；所述金属球的制备以及微型件的拾取和 放置步骤均通过标准引线键合仪完成，从而实现 了微型件的规模化高效转移，有效克服了传统转 移印刷等微型件转移方法因采用非标准化设备 而难以规模化应用的不足。 A 7 2 7 0 3 8 3 1 1 N C CN 113830727 A 权　利　要　求　书