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PCT发明

固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件

2023-06-18 07:09:27 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080044718.4
  • 公开（公告）日：2024-08-13
  • 公开（公告）号：CN113994258A
  • 申请人：富士胶片株式会社
摘要：一种固化性树脂组合物、将所述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含所述固化膜的层叠体、所述固化膜的制造方法及包含所述固化膜或所述层叠体的半导体器件，该固化性树脂组合物包含选自由聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种树脂以及具有下述式(1‑1)所表示的结构的化合物；式(1‑1)中，Ar表示芳香族杂环结构，*表示与其他结构的键合部位。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113994258 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202080044718.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.06.19 代理人 朱丹 (30)优先权数据 (51) Int.C l. 2019-118710 2019.06.26 JP G03F 7/004 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/027 (2006.01) 2021.12.17 G03F 7/037 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 7/40 (2006.01) PCT/JP2020/024109 2020.06.19 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/262228 JA 2020.12.30 (71)申请人

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