1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 作业/运输
PCT发明

包括可移动结构元件的MEMS和MEMS阵列

2023-05-28 13:32:05 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980033064.2
  • 公开（公告）日：2024-10-22
  • 公开（公告）号：CN112368232A
  • 申请人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及一种MEMS，该MEMS包括基板，该基板具有在基板平面上方升高的基板延伸部。该MEMS包括可移动结构元件、将可移动结构元件机械地连接到基板延伸部的第一弹簧元件、以及将可移动结构元件机械地连接到基板延伸部的第二弹簧元件。第一弹簧元件和第二弹簧元件形成可移动结构元件相对于基板延伸部的平行四边形引导件。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112368232 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 201980033064.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.05.09 代理人 毕杨 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102018207783.5 2018.05.17 DE B81B 3/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G02B 26/08 (2006.01) 2020.11.17 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/061969 2019.05.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/219511 DE 2019.11.21 (71)申请人 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 地址 德国慕尼黑 (72)发明人 彼得 ·杜尔　 安德烈亚斯 ·诺伊德特　

最新专利

相关专利