一种槽式清洗烘干一体设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116984303 A (43)申请公布日 2023.11.03 (21)申请号 202310701766.1 (22)申请日 2023.06.14 (71)申请人 苏州普伊特自动化系统有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区临湖镇 浦庄大道2988号3栋厂房一层 (72)发明人 张淋　袁成　 (74)专利代理机构 苏州创胜知识产权代理事务 所(普通合伙) 32720 专利代理师 赵磊 (51)Int.Cl. B08B 3/12 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种槽式清洗烘干一体设备 (57)摘要 本发明公开了一种槽式清洗烘干一体设备， 包括槽体，槽体的内部由左至右依次开设有相互 隔绝的去污槽、清洗槽和烘干槽，清洗槽的内部 安装有超声波发生器，烘干槽的表面连通有热风 机，槽体的外壁通过丝杆传动模块传动连接有移 动架，移动架的表面可升降的安装有载架，载架 的下方滑动连接有振洗架，载架的表面安装有驱 动振洗架上下往复振动的传振部件。本发明在工 作过程中，减速电机均以设定状态输出转速，减 速电机输出转速后，一方面驱动振洗架和硅片在 设定行程内往复振动，从而形成对硅片表面的冲 刷式去污和冲刷式清洗，另一方面硅片发生自转 A 式旋转运动。 3 0 3 4 8 9 6 1 1 N C CN 11698