一种二维高精度压电定位平台及方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114913913 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210310160.0 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人 山东大学 地址 250061 山东省济南市历下区经十路 17923号 (72)发明人 闫鹏　刘希同　刘国帅　 (74)专利代理机构 济南圣达知识产权代理有限 公司 37221 专利代理师 杨琪 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) H02N 2/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种二维高精度压电定位平台及方法 (57)摘要 本发明提出了一种二维高精度压电定位平 台及方法，包括依次连接的输出位移平台、偏摆 单元和驱动单元，所述输出位移平台上安装有导 向机构，导向机构用于对输出位移平台的Y向运 动和X向运动进行导向，所述驱动单元用于带动 偏摆单元Y向运行或转动，偏摆单元的Y向运动带 动输出位移平台沿Y向运动，偏摆单元的转动带 动输出位移平台沿X向运动；实现平台运动在原 理上无寄生位移，其运动由两个轴所叠加的信号 所控制，其解耦特性极好，实现X和Y方向的大行 程运动，而不用占用Z方向的空间，特别适合Z方 向空间狭窄，但要求高定位精度与大行程的应用 A 场合。 3 1 9 3 1 9 4 1 1 N C CN 114913913 A