微机电装置及其压电复合叠层2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118062802 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202211479296.0 H10N 30/50 (2023.01) (22)申请日 2022.11.23 (71)申请人 世界先进积体电路股份有限公司 地址 中国台湾新竹县 (72)发明人 夏佳杰　 贝维塔 ·卡卢帕塔林卡尔 ·钱德兰　 兰加纳坦 ·纳加拉佳　 拉玛奇德拉玛尔斯 ·彼拉迪 ·叶蕾 哈卡　 (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有 限公司 44223 专利代理师 刘莉 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) H10N 30/20 (2023.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 微机电装置及其压电复合叠层 (57)摘要 一种微机电(MEMS)装置，包含具有空腔的基 底，以及设置在空腔上且附着于基底的微机电结 构。微机电结构包含至少一第一压电层，具有第 一压电系数，以及两个第二压电层，分别设置在 第一压电层的下方和上方，其中每个第二压电层 具有高于第一压电系数的第二压电系数。此外， 微机电结构还包含第一电极层和第二电极层，将 两个第二压电层夹在中间。 A 2 0 8 2 6 0 8 1 1 N C CN 118062