具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法
- 申请专利号:CN202111193377.X
- 公开(公告)日:2025-06-06
- 公开(公告)号:CN113942974A
- 申请人:TDK株式会社
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113942974 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111193377.X B81B 7/02 (2006.01) (22)申请日 2018.07.04 (30)优先权数据 102017115407.8 2017.07.10 DE (62)分案原申请数据 201880046257.7 2018.07.04 (71)申请人 TDK株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 W ·帕尔 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 代理人 张凌苗 周学斌 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方 法 (57)摘要 具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方 法。公开了一种在其载板(CB)中具有介质入口 (MO)的MEMS传感器(1),其具有封闭介质入口的 整体过滤器网(MSH)。可以在载板的整个表面之 上以非结构化的形式施加网。然后,执行结构化 以优选地同时产生形成过滤器网的穿孔。 A 4 7 9 2 4 9 3 1 1 N C CN 113942974 A 权 利 要 求 书
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