具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113942974 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111193377.X B81B 7/02 (2006.01) (22)申请日 2018.07.04 (30)优先权数据 102017115407.8 2017.07.10 DE (62)分案原申请数据 201880046257.7 2018.07.04 (71)申请人 ＴＤＫ株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 W ·帕尔　 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 代理人 张凌苗　周学斌 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方 法 (57)摘要 具有粒子过滤器的MEMS器件以及制造的方 法。公开了一种在其载板（CB）中具有介质入口 （MO）的MEMS传感器（1），其具有封闭介质入口的 整体过滤器网（MSH）。可以在载板的整个表面之 上以非结构化的形式施加网。然后，执行结构化 以优选地同时产生形成过滤器网的穿孔。 A 4 7 9 2 4 9 3 1 1 N C CN 113942974 A 权　利　要　求　书