一种多孔薄膜吸气剂结构及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113772618 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202111091412.7 (22)申请日 2021.09.17 (71)申请人 安徽光智科技有限公司 地址 239064 安徽省滁州市琅琊经济开发 区南京路100号 (72)发明人 赵龙　杨晓杰　李海涛　姚浩强　 高玉波　赵雪城　 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 代理人 朱伟雄 (51)Int.Cl. B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种多孔薄膜吸气剂结构及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了多孔薄膜吸气剂结构，包括晶 圆和薄膜吸气剂，晶圆上表面具有凹槽结构，凹 槽结构的内壁均为多孔结构，薄膜吸气剂覆盖多 孔结构。还公开了该结构的制备方法，采用干法 或湿法刻蚀联合金颗粒辅助刻蚀三维薄膜吸气 剂结构，在制备的凹槽结构上制备多孔结构以增 大薄膜吸气剂沉积面积及沉积体量，从而有效增 加薄膜吸气剂的吸气性能和使用寿命；通过蒸 镀‑剥离工艺沉积的金膜在高温快速退火的工艺 条件下可在凹槽的侧壁和基底形成分布均匀的 金颗粒，利用退火后的金颗粒进行刻蚀工艺，在 侧壁刻蚀出均匀分布的多孔结构，进而增大吸气 A 剂薄膜和侧壁、底部