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发明

一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构及其制备方法

2023-06-11 11:46:13 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310231561.1
  • 公开（公告）日：2024-04-19
  • 公开（公告）号：CN116216628A
  • 申请人：清华大学
摘要：本发明属于微纳米表面涂层技术领域，具体涉及一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构及其制备方法。本发明提供的一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构的制备方法，包括如下步骤：(1)得到改性纳米颗粒分散液和改性基底；(2)得到金属纳米颗粒自组装层的微图案基底；(3)在目标基底上形成可诱导固化的粘结层，得到粘结基底；(4)将金属纳米颗粒自组装层部分与粘结层部分相贴合压紧，诱导粘结层固化；(5)将基底进行剥离，得金属纳米颗粒微图案结构；(6)将金属纳米颗粒微图案结构进行化学镀处理，得到金属纳米颗粒微图案化学镀结构。本发明提供的制备方法可以得到分辨率高、缺陷较少、导电性较好、质量较好且稳定性较高的微电路结构。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116216628 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202310231561.1 B82Y 30/00 (2011.01) (22)申请日 2023.03.10 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区清华园1号 (72)发明人 汪家道　马原　李轩　宋乐乐　 余郭煦　翁鼎　陈磊　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 专利代理师 白淑君 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) C23C 18/40 (2006.01) B22F 1/102 (2022.01) B22F 1/0545 (2022.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构及其 制备方法 (57)摘要 本发明属于微纳米表面涂层技术领域，具体 涉及一种金属纳米颗粒微图案化学镀结构及其 制备方法。本发明提供的一种金属纳米颗粒微图 案化学镀结构的制备方法，包括如下步骤：(1)得 到改性纳米颗粒分散液和改性基底；(2)得到金 属纳米颗粒自组装层的微图案基底；(3)在目标 基底上形成可诱导固化的粘结层，得到粘结基 底；(4)将金属纳米颗粒自组装层部分与粘结层 部分相

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