用于直写光刻设备的数据传输系统

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218647635 U (45)授权公告日 2023.03.17 (21)申请号 202222297064.5 (22)申请日 2022.08.30 (73)专利权人 合肥芯碁微电子装备股份有限公 司 地址 230088 安徽省合肥市高新区长宁大 道789号1号楼 (72)发明人 周明如　 (74)专利代理机构 北京景闻知识产权代理有限 公司 11742 专利代理师 朱鸿雁 (51)Int.Cl. G11C 7/10 (2006.01) G06F 13/42 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 (54)实用新型名称 用于直写光刻设备的数据传输系统 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于直写光刻设备 的数据传输系统，所述用于直写光刻设备的数据 传输系统包括：上位机，上位机包括X个第一输出 端口；数据储存与分发模块，数据储存与分发模 块包括X个第一接收端口和Y个第二输出端口；N 个数据处理板，N个数据处理板通过第二接收端 口分别与第二输出端口一一对应连接；N个图形 显示器，N个图形显示器与N个数据处理板一一对 应连接。采用该用于直写光刻设备的数据传输系 统可以解决因上位机中端口数量有限使得上位 机数量增加的问题，节约设备成本，以及提升数 据的传输速率以增加性能。 U 5 3 6 7 4 6 8 1 2 N C CN 218647635 U