1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 电学
PCT发明

用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、维护基板处理系统的方法、以及制造装置的方法

2023-08-25 07:22:00 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080108015.3
  • 公开（公告）日：2025-07-08
  • 公开（公告）号：CN116635994A
  • 申请人：应用材料公司
摘要：描述了一种用于载体运输组件的辊子。所述辊子包括辊子主体，所述辊子主体是可旋转的并且具有基板支撑表面；辊子壳套，所述辊子壳套围绕所述辊子的一部分；及所述辊子壳套的捕集表面，所述捕集表面具有面向所述辊子的至少第一表面部分。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116635994 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202080108015.3 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 (22)申请日 2020.12.17 专利代理师 徐金国　吴启超 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl . 2023.06.16 H01L 21/677 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/086839 2020.12.17 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/128112 EN 2022.06.23 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 安德烈 ·布鲁宁　 克里斯蒂安 ·沃尔夫冈 ·埃曼　 蒋开云　拉尔夫•林登贝格　 奥利弗•海默尔　栗田真一　 权利要求书1页 说明书12页 附图8页 (54)发明名称 用于载体运输组件的辊子、基板处理系统、 维护基板处理系统的方法、以及制造装

最新专利

相关专利