一种阵列结构硅基靶板及其应用

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110902646 A (43)申请公布日 2020.03.24 (21)申请号 201911148324.9 (22)申请日 2019.11.21 (71)申请人 厦门大学 地址 361000 福建省厦门市思明南路422号 (72)发明人 李静　钟昌祥　林水潮　尹君　 惠文杰　郑南峰　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 代理人 王茹 (51)Int.Cl. B81C 1/00(2006.01) G01N 27/62(2006.01) G01N 27/68(2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图7页 (54)发明名称 一种阵列结构硅基靶板及其应用 (57)摘要 本发明公开了一种阵列结构硅基靶板及其 应用，所述阵列结构硅基靶板包括点样区和外围 区，所述点样区具有微纳米结构阵列，所述微纳 米结构阵列包括数个微纳米结构，所述微纳米结 构的高度为10nm-100μm，等效直径或者等效边 长为10nm-100μm，所述相邻微纳米结构之间的 距离为10nm-10μm，所述微纳米结构阵列还包括 裹附在微纳米结构表面的材料层；以及本发明的 阵列结构硅基靶板在质谱检测、拉曼检测、生物 传感器或光电探测器中的应用。 A 6 4 6 2 0 9 0