基于金属柱的微波等离子体增强方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117769104 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311850325.4 (22)申请日 2023.12.29 (71)申请人 合肥博雷电气有限公司 地址 231299 安徽省合肥市高新区香樟大 道168号科技实业园C-5二层 (72)发明人 王少波　刘凯　赵士国　 (74)专利代理机构 合肥和瑞知识产权代理事务 所(普通合伙) 34118 专利代理师 花煜昌　柯凯敏 (51)Int.Cl. H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/30 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 基于金属柱的微波等离子体增强方法 (57)摘要 本发明涉及等离子体增强技术领域，具体是 基于金属柱的微波等离子体增强方法，通过分析 金属柱的高度h、金属柱轴线与玻璃导流管之间 的距离d、金属柱的直径R、角度angle，四个影响 参数来探究最合适的尺寸。优化后的结构在玻璃 导流管区域集中的电场强度比原结构提升了一 倍左右，有效地加强了电场的集中。来进行电场 强度的进一步聚焦优化，增大在石英放电管区域 的电场强度，从而更好地电离击穿工作气体，让 产生的微波等离子体炬更加稳定。 A 4 0 1 9 6 7 7 1 1 N C CN 117769104 A 权　利　要　求　书