一种高精度温度感测功能的MEMS微热板及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117886276 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202311832546.9 (22)申请日 2023.12.28 (71)申请人 武汉微纳传感技术有限公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开 发区武大园路5-1号国家地球空间信 息产业基地南主楼1单元4层01号 (72)发明人 雷鸣　 (74)专利代理机构 北京轻创知识产权代理有限 公司 11212 专利代理师 杨立 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种高精度温度感测功能的MEMS微热板及 其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种高精度温度感测功能的 MEMS微热板及其制备方法，涉及微电子器件技术 领域，该MEMS微热板包括衬底；设置在所述衬底 上的绝缘支撑层；设置在所述绝缘支撑层上的加 热电阻层；设置在所述加热电阻层上的绝缘保护 层；所述加热电阻层包括具有氧化保护作用的粘 结层、铂金属层、氧化保护层。本发明兼具尺寸 小、成本低、加热电阻稳定性好的优点，改善MEMS 微热板在长期高温工作参数工作后电阻值的漂 移，MEMS微热板的温度感测参数可以长期稳定。 A 6 7 2 6 8 8 7 1 1 N C CN 117886276 A