原创力.专利
抗蚀剂的干式显影
- 申请专利号：CN201980085227.1
- 公开（公告）日：2025-07-04
- 公开（公告）号：CN113227909A
- 申请人：朗姆研究公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113227909 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980085227.1 凯文 ·顾 (22)申请日 2019.12.19 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 李献忠 张华 (30)优先权数据 62/782,578 2018.12.20 US (51)Int.Cl. G03F 7/36 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/16 (2006.01) 2021.06.21 G03F 7/38 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 7/42 (2006.01) PCT/US2019/067540 2019.12.19 G03F 7/004 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/132281 E
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