真空环境下双波长平顶飞秒激光振镜系统一体化加工方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117206670 A (43)申请公布日 2023.12.12 (21)申请号 202311409274.1 (22)申请日 2023.10.27 (71)申请人 北京理工大学 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5 号 (72)发明人 姜澜　王猛猛　王嘉文　李欣　 王素梅　路畅　 (74)专利代理机构 河北识诺知识产权代理有限 公司 13198 专利代理师 郭嘉 (51)Int.Cl. B23K 26/0622 (2014.01) B23K 26/046 (2014.01) B23K 26/70 (2014.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 真空环境下双波长平顶飞秒激光三维振镜 系统一体化加工 (57)摘要 本发明适用于微纳加工技术领域，提供了一 种真空环境下利用双波长平顶飞秒激光加三维 振镜系统的加工方法，所述加工方法包括：基于 不同材料对不同波长的激光吸收率不同，以及真 空环境下利用平顶光加工的良好效果，产生的一 种一体化加工DLC加TiN叠层膜样品的方法。总体 加工思路为：运用飞秒激光整形器件将高斯光变 为平顶光，再利用倍频晶体产生双波长激光，后 利用真空腔设置出真空加工环境，随后利用三维 振镜加工系统对叠层膜样品进行加工，从而得到 一体化的加工方法。 A 0 7 6 6 0 2 7 1 1 N