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发明

针对重复率相关性能变量的在线校准

2023-06-05 18:20:21 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202011588035.3
  • 公开（公告）日：2024-11-15
  • 公开（公告）号：CN112731770A
  • 申请人：西默有限公司|||ASML荷兰有限公司
摘要：公开了根据激光器以其被操作的重复率对激光器性能的在线校准。校准可以是周期性的，并且可以在非曝光时段期间的计划期间进行。可以使用各种标准来自动选择产生可靠的符合规范的性能的重复率。然后使重复率的可靠值可用于扫描仪以作为所允许的值，并且然后允许激光器/扫描仪系统使用那些允许的重复率。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731770 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011588035.3 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2016.10.18 代理人 吕世磊 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 14/976,829 2015.12.21 US G03F 7/20 (2006.01) (62)分案原申请数据 H01S 3/00 (2006.01) 201680073543.3 2016.10.18 H01S 3/10 (2006.01) (71)申请人 西默有限公司 G01J 11/00 (2006.01) 地址 美国加利福尼亚州 G01J 1/42 (2006.01) 申请人 ASML荷兰有限公司 G01J 1/04 (2006.01)

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