自动更换光阻装置及其控制方法、控制装置和存储介质2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117756041 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202211137343.3 (22)申请日 2022.09.19 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发 区空港工业园兴业大道388号 (72)发明人 王茂　李世玉　陈立夫　 (51)Int.Cl. B67B 7/14 (2006.01) B67B 3/02 (2006.01) 权利要求书3页 说明书11页 附图7页 (54)发明名称 自动更换光阻装置及其控制方法、控制装置 和存储介质 (57)摘要 本公开涉及一种自动更换光阻装置及其控 制方法、控制装置和存储介质，当需要对光阻进 行更换时，先通过第一夹持组件夹持固定容纳瓶 的瓶身，然后通过移动组件驱动第二夹持组件升 降动作，带动第二夹持组件移动到容纳瓶的瓶盖 位置时夹住瓶盖，接着通过移动组件驱动第二夹 持组件升降动作，带动瓶盖与吸管一起向外拔 出；第一夹持组件松开原瓶身，并更换装满光阻 的新的瓶身，通过第一夹持组件夹持固定新的瓶 身，然后通过移动组件驱动第二夹持组件升降动 作，带动吸管插入到新的瓶身内部，以及使得瓶 A 盖盖设于新的瓶身上。如此，便能实现自动更换 1 光阻，工作效率较高，且能避免采用手动拔管与 4 0 6 插管更换光阻过程中导致光阻被particle污染 5 7 7 的现象。 1 1 N C CN 117756041 A