一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结构的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115894090 A (43)申请公布日 2023.04.04 (21)申请号 202211439213.5 (22)申请日 2022.11.17 (71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究 中心 地址 621000 四川省绵阳市科学城绵山路 64号 (72)发明人 姚彩珍　蒋一岚　牛龙飞　向思衡　 蒋晓龙　黄进　苗心向　吕海兵　 周国瑞　 (74)专利代理机构 绵阳远卓弘睿知识产权代理 事务所(普通合伙) 51371 专利代理师 张忠庆 (51)Int.Cl. C04B 41/91 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种在脆硬材料表面制备高增透亚波长结 构的方法 (57)摘要 本发明公开了一种在脆硬材料表面制备高 增透亚波长结构的方法，包括：制备待加工脆硬 材料样品；对硬脆材料样品表面进行辐照改性， 对硬脆材料样品表面进行扫描，对目标改性区域 进行活化；在无掩模情况下，利用离子刻蚀技术 对活化区域进行精准去除，获得亚波长增透结 构；超声清洗，洁净空气吹干。本发明使用飞秒激 光对硬脆材料表面进行精确辐照，使材料内部的 结晶态发生转变，赋予材料表面一定的活性，在 无掩模情况下利用离子刻蚀技术对改性区域进 行精准去除，在硬脆材料表面获得亚波长增透结 A 构，不但消除了飞秒激光加工过程中碎屑飞溅的 0 影响，同时