一种用于菲索干涉仪的高精度误差标定装置2026

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118089534 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410076355.2 (22)申请日 2024.01.18 (71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院 地址 100080 北京市海淀区北四环西路19 号 (72)发明人 张文喜　刘安琪　王凯　相里斌　 杨帅　赵思泽鹏　 (74)专利代理机构 北京凯特来知识产权代理有 限公司 11260 专利代理师 陈亮　郑哲 (51)Int.Cl. G01B 9/02055 (2022.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种用于菲索干涉仪的高精度误差标定装 置 (57)摘要 本发明公开了一种用于菲索干涉仪的高精 度误差标定装置，包括光源、点衍射干涉仪和待 标定菲索干涉仪，其中光源用于产生短相干光并 进行外差移相；点衍射干涉仪用于测量待标定菲 索干涉仪的参考面面形，以及发出点衍射球面 波；点衍射干涉仪内包括光纤耦合器、第一会聚 镜、第二会聚镜、点衍射板、第一反射镜、第一成 像镜和第一探测器；待标定菲索干涉仪内包括标 准球面镜、偏振分光棱镜、准直镜、第二反射镜、 第二成像镜和第二探测器。该装置利用点衍射干 涉仪对菲索干涉仪的参考面面形误差和系统误 A 差进行标定，进而获得被测元件的高精度绝对面 4 形数据，以打破标准球面镜面形加工精度对系统 3 5 9 测量精度的限制。 8 0 8 1