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PCT发明

使用机械滤波器的量测装置和方法

2023-07-03 11:00:28 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080031831.9
  • 公开（公告）日：2024-08-13
  • 公开（公告）号：CN113767336A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种量测装置，包括：诊断装置，被配置为在当前目标进入目标空间之前在诊断区域处使诊断探针与当前目标进行交互；检测装置；以及与检测装置通信的控制系统。检测装置包括：光传感器，该光传感器具有与诊断区域重叠的视场并且被配置为感测从诊断区域处的诊断探针与当前目标之间的交互产生的光；以及诊断区域和光传感器之间的机械滤波器。机械滤波器包括光束缩减器和光学掩模，光学掩模限定被定位于光束缩减器和光传感器之间的孔。控制系统被配置为基于来自光传感器的输出来估计当前目标的属性。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113767336 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202080031831.9 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2020.04.28 代理人 赵林琳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/839,922 2019.04.29 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H05G 2/00 (2006.01) 2021.10.27 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/061674 2020.04.28 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/221709 EN 2020.11.05 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 P ·A ·麦肯齐　J ·Q ·奥德勒　 权利要求书3页 说明书1

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