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PCT发明

带有形状记忆合金和磁耦合机构的掩模版笼式致动器

2023-07-05 07:15:38 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080033776.7
  • 公开（公告）日：2024-08-16
  • 公开（公告）号：CN113811818A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：本文中的实施例描述了用于为物体提供支撑的方法和安全装置。一种安全装置包括具有驱动电机的驱动侧、以及从动侧。安全装置的从动侧包括外壳和安全闩锁，该外壳具有沿着外壳的长度延伸的旋转轴。从动侧经由旋转轴的第一端处的非接触式磁耦合装置被耦合到驱动电机，并且安全闩锁被耦合到旋转轴的与旋转轴的第一端相对的第二端。驱动电机被配置为经由非接触式磁耦合装置在驱动侧引起安全闩锁在径向方向上的旋转。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113811818 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202080033776.7 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2020.04.28 代理人 赵林琳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/845,022 2019.05.08 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.11.05 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/061679 2020.04.28 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/225017 EN 2020.11.12 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 H ·克里什南　K ·S ·多希　 权利要求书2页 说明书14页 附图11页 (54)发明名称 带有形状记忆合金和磁耦合机构的掩模版 笼式致动器 (57)摘要 本文中的实施例描述了

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